低温等离子体技术：针对电子厂废气的特点低温等离子体设备组合性强，可以窜并联混合应用，在处理高浓度异味气体时能发挥明显优势。设备使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。

　　等离子有机废气设备是目前先进的废气处理技术之一，自动化程度高,工艺简洁,操作简单,方便.无需专人看管，遇故障自动停机报警。是目前众多企业在废气治理上的首选。其运行费用低廉，适应范围广可在高温250℃,低温-50℃的环境内使用。无二次污染，设备使用寿命长达10年以上。

　　电子厂在采用低温等离子废气处理设备实际运行，净化效率高，无二次污染，发生装置和催化氧化装置有机地结合在同一净化设备内，最大限度地发挥了复合净化地效能，使之满足占地小，重量轻，能耗少，效率高地设计要求。